氧化铝陶瓷
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氧化铝陶瓷具有良好的绝缘性、绝热性和耐磨性。因价格相对便宜,且其综合性能均衡,是应用范围广泛的陶瓷材料之一。高纯(99.8%及以上)氧化铝耐腐蚀和耐等离子体刻蚀性能良好,被广应用在泛半导体设备中。